सेमीकंडक्टर (एफएबी) क्लीन रूममध्ये सापेक्ष आर्द्रतेचे लक्ष्य मूल्य अंदाजे 30 ते 50% असते, ज्यामुळे लिथोग्राफी झोनमध्ये ±1% एररच्या अरुंद मार्जिनला अनुमती मिळते - किंवा फार अल्ट्राव्हायोलेट प्रोसेसिंग (DUV) मध्ये त्याहूनही कमी झोन - इतरत्र ते ±5% पर्यंत शिथिल केले जाऊ शकते.
कारण सापेक्ष आर्द्रतेमध्ये अनेक घटक असतात जे स्वच्छ खोल्यांचे एकूण कार्यप्रदर्शन कमी करू शकतात, यासह:
1. जीवाणूंची वाढ;
2. कर्मचाऱ्यांसाठी खोलीचे तापमान आराम श्रेणी;
3. इलेक्ट्रोस्टॅटिक चार्ज दिसून येतो;
4. धातूचा गंज;
5. पाण्याची वाफ संक्षेपण;
6. लिथोग्राफीची निकृष्टता;
7. पाणी शोषण.
जिवाणू आणि इतर जैविक दूषित घटक (मोल्ड, विषाणू, बुरशी, माइट्स) 60% पेक्षा जास्त सापेक्ष आर्द्रता असलेल्या वातावरणात वाढू शकतात.काही जिवाणू समुदाय 30% पेक्षा जास्त सापेक्ष आर्द्रतेवर वाढू शकतात.कंपनीचा असा विश्वास आहे की आर्द्रता 40% ते 60% च्या मर्यादेत नियंत्रित केली पाहिजे, ज्यामुळे जीवाणू आणि श्वसन संक्रमणाचा प्रभाव कमी होऊ शकतो.
40% ते 60% च्या श्रेणीतील सापेक्ष आर्द्रता देखील मानवी आरामासाठी एक मध्यम श्रेणी आहे.खूप जास्त आर्द्रता लोकांना गुदमरल्यासारखे वाटू शकते, तर 30% पेक्षा कमी आर्द्रता लोकांना कोरडी, फाटलेली त्वचा, श्वासोच्छवासात अस्वस्थता आणि भावनिक दुःखाची भावना देऊ शकते.
उच्च आर्द्रता क्लीनरूमच्या पृष्ठभागावर इलेक्ट्रोस्टॅटिक चार्जेसचे संचय कमी करते - एक इच्छित परिणाम.कमी आर्द्रता चार्ज जमा होण्यासाठी आदर्श आहे आणि इलेक्ट्रोस्टॅटिक डिस्चार्जचा संभाव्य हानीकारक स्रोत आहे.जेव्हा सापेक्ष आर्द्रता 50% पेक्षा जास्त असते, तेव्हा इलेक्ट्रोस्टॅटिक शुल्क वेगाने नष्ट होण्यास सुरवात होते, परंतु जेव्हा सापेक्ष आर्द्रता 30% पेक्षा कमी असते, तेव्हा ते इन्सुलेटर किंवा अग्राउंड पृष्ठभागावर दीर्घकाळ टिकून राहू शकतात.
35% आणि 40% मधील सापेक्ष आर्द्रता समाधानकारक तडजोड म्हणून वापरली जाऊ शकते आणि सेमीकंडक्टर स्वच्छ खोल्या सामान्यत: इलेक्ट्रोस्टॅटिक शुल्काच्या संचयनावर मर्यादा घालण्यासाठी अतिरिक्त नियंत्रणे वापरतात.
सापेक्ष आर्द्रता वाढल्याने गंज प्रक्रियांसह अनेक रासायनिक अभिक्रियांचा वेग वाढेल.स्वच्छ खोलीच्या सभोवतालच्या हवेच्या संपर्कात येणारे सर्व पृष्ठभाग जलद असतात.
पोस्ट वेळ: मार्च-15-2024
मुख्यपृष्ठ
उत्पादने
आमच्याशी संपर्क साधा
बातम्या