सेमीकंडक्टर (FAB) स्वच्छ खोलीत सापेक्ष आर्द्रतेचे लक्ष्य मूल्य अंदाजे 30 ते 50% असते, ज्यामुळे लिथोग्राफी झोनमध्ये ±1% त्रुटीची मर्यादा कमी होते - किंवा दूरच्या अल्ट्राव्हायोलेट प्रक्रिया (DUV) झोनमध्ये त्याहूनही कमी - तर इतरत्र ते ±5% पर्यंत कमी केले जाऊ शकते.
कारण सापेक्ष आर्द्रतेमध्ये स्वच्छ खोल्यांच्या एकूण कामगिरीवर परिणाम करणारे अनेक घटक असतात, ज्यात हे समाविष्ट आहे:
१. जिवाणूंची वाढ;
२. कर्मचाऱ्यांसाठी खोलीच्या तापमानाची आराम श्रेणी;
३. इलेक्ट्रोस्टॅटिक चार्ज दिसून येतो;
४. धातूचा गंज;
५. पाण्याची वाफ संक्षेपण;
६. लिथोग्राफीचे ऱ्हास;
७. पाणी शोषण.
बॅक्टेरिया आणि इतर जैविक दूषित घटक (बुरशी, विषाणू, बुरशी, माइट्स) ६०% पेक्षा जास्त सापेक्ष आर्द्रता असलेल्या वातावरणात वाढू शकतात. काही बॅक्टेरिया समुदाय ३०% पेक्षा जास्त सापेक्ष आर्द्रतेवर वाढू शकतात. कंपनीचा असा विश्वास आहे की आर्द्रता ४०% ते ६०% च्या श्रेणीत नियंत्रित केली पाहिजे, ज्यामुळे बॅक्टेरिया आणि श्वसन संसर्गाचा प्रभाव कमी होऊ शकतो.
४०% ते ६०% च्या सापेक्ष आर्द्रतेची पातळी ही मानवी आरामासाठी एक मध्यम श्रेणी आहे. जास्त आर्द्रतेमुळे लोकांना पोट भरल्यासारखे वाटू शकते, तर ३०% पेक्षा कमी आर्द्रतेमुळे लोकांना कोरडी, फाटलेली त्वचा, श्वसनाचा त्रास आणि भावनिक दुःख जाणवू शकते.
उच्च आर्द्रता प्रत्यक्षात स्वच्छ खोलीच्या पृष्ठभागावर इलेक्ट्रोस्टॅटिक चार्जेसचे संचय कमी करते - एक इच्छित परिणाम. कमी आर्द्रता चार्जेस संचयित करण्यासाठी आदर्श आहे आणि इलेक्ट्रोस्टॅटिक डिस्चार्जचा संभाव्य हानिकारक स्रोत आहे. जेव्हा सापेक्ष आर्द्रता 50% पेक्षा जास्त असते, तेव्हा इलेक्ट्रोस्टॅटिक चार्जेस वेगाने नष्ट होऊ लागतात, परंतु जेव्हा सापेक्ष आर्द्रता 30% पेक्षा कमी असते, तेव्हा ते इन्सुलेटर किंवा जमिनीशिवाय पृष्ठभागावर बराच काळ टिकून राहू शकतात.
३५% आणि ४०% मधील सापेक्ष आर्द्रता समाधानकारक तडजोड म्हणून वापरली जाऊ शकते आणि सेमीकंडक्टर स्वच्छ खोल्या सामान्यतः इलेक्ट्रोस्टॅटिक चार्जेसचे संचय मर्यादित करण्यासाठी अतिरिक्त नियंत्रणे वापरतात.
सापेक्ष आर्द्रता वाढल्याने गंज प्रक्रियांसह अनेक रासायनिक अभिक्रियांचा वेग वाढेल. स्वच्छ खोलीभोवती हवेच्या संपर्कात येणारे सर्व पृष्ठभाग जलद असतात.
पोस्ट वेळ: मार्च-१५-२०२४
मुखपृष्ठ
उत्पादने
आमच्याशी संपर्क साधा
बातम्या